Lithiumniobaat op isolatorsubstraten LNOI

Lithium Niobate dunne films op isolator is een soort POI (Piezoelectric on Insulator) wafer. De gestapelde sequentiestructuur bestaat uit ondersteunende substraten die silicium, kwarts, gesmolten siliciumdioxide, saffier of LN-wafer kunnen zijn, de tussenlaag is thermisch oxide SiO2 dat werkt als isolator en lithiumniobaatfilm is de functionele laag boven de isolatielaag.

POI/LNOI ontwikkelde substraten maken het mogelijk om filters te ontwerpen met een hoge kwaliteitsfactor, grote bandbreedte, zeer lage temperatuurgevoeligheid en laag insertieverlies met een eenvoudige productietechnologie. Deze wafers worden ontwikkeld en gebruikt voor hogesnelheidsmodulatoren, SAW-apparaten met een hoge Q-factor, IR-detectoren en THz-apparaten.

We werken samen met onze strategische partner die ervaring heeft met de technologie van smart cut en wafer bonding en levering met belangrijke piëzo-elektrische laag op LN / LT van de grootte van 3 “4” 6 “tot 8” om de speciale wafer te bouwen met meerlagige structuur.

Specificaties voor LNOI