Lithiumniobat auf Isolatorsubstraten LNOI

Lithium-Niobat-Dünnschichten auf Isolator sind eine Art POI-Wafer (Piezoelectric on Insulator). Die gestapelte Sequenzstruktur besteht aus Trägersubstraten, die aus Silizium, Quarz, Quarzglas, Saphir oder LN-Wafern bestehen können. Die Zwischenschicht besteht aus thermischem Oxid SiO2, das als Isolator fungiert, und die Lithiumniobatschicht ist die Funktionsschicht über der Isolationsschicht.

Die POI/LNOI-Substrate ermöglichen die Entwicklung von Filtern mit hohem Qualitätsfaktor, großer Bandbreite, sehr geringer Temperaturempfindlichkeit und geringem Einfügungsverlust bei einfacher Herstellungstechnologie. Diese Wafer werden für Hochgeschwindigkeitsmodulatoren, SAW-Bauelemente mit hohem Q-Faktor, IR-Detektoren und THz-Bauelemente entwickelt und verwendet.

Wir arbeiten mit unserem strategischen Partner zusammen, der Erfahrung mit der Technologie des intelligenten Schnitts und des Waferbondings hat, und liefern wichtige piezoelektrische Schichten auf LN/LT in den Größen von 3″, 4″, 6″ bis zu 8″, um spezielle Wafer mit mehrschichtiger Struktur herzustellen.

Spezifikationen für LNOI