Serie Glas- und Quarzglaswafer
Spezifikationen
Durchmesser: 5mm - 400mm
Dicke: 50μm oder mehr
Maßtoleranz: +/- 25μm
Toleranzen der Dicke: +/- 5μm
Dicke: 50μm oder mehr
Maßtoleranz: +/- 25μm
Toleranzen der Dicke: +/- 5μm
Unsere Konstrukteure und Ingenieure sind in der Lage, mit einer Vielzahl von Glas- und Quarzmaterialien zu arbeiten, um optische Präzisionsprodukte zu bearbeiten und herzustellen, z. B. Teile aus Quarzglas für die Optik, Teile aus Quarzglas, die in Glasfaseranwendungen verwendet werden, und Teile aus Borosilikatglas, die in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden.
Die allgemeinen Spezifikationen sind wie folgt, wenn Ihre Spezifikation nicht dabei ist, können Sie uns dies mitteilen und wir werden sie gerne für Sie anpassen.
| spezifikation | einheit | 4″ | 6″ | 8″ | 10″ | 12″ |
| Durchmesser/Größe (oder Quadrat) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Toleranz (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Dicke | mm | 0.10 oder mehr | 0.30 oder mehr | 0.40 oder mehr | 0.50 oder mehr | 0.50 oder mehr |
| Primäre Referenzfläche | mm | 32.5 | 57.5 | Halbe Kerbe | Halbe Kerbe | Halbrille |
| LTV (5mmx5mm) | µm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | µm | < 2 | < 3 | <3 | <5 | <5 |
| Bogen | µm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Kettfaden | µm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV(5mm*5mm)<0.4um | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| Kantenverrundung | mm | Entspricht der Norm SEMI M1.2/bezieht sich auf IEC62276 | ||||
| Oberflächenart | Einseitig poliert /Doppelseitig poliert | |||||
| Polierte Seite Ra | nm | ≤1 | ||||
| Rückseite Kriterien | µm | allgemein 0,2-0,7 oder kundenspezifisch | ||||
Eingeschlossenes Material: 
: Borofloat33/B270/D263/BK7 usw.
: Eagle XG , Quarzglas 7980/7978/7979 usw.
: Fused Silica JGS1/JGS2 & Einfacher Quarz etc.
: H-K9L Glas/ Natronkalk usw.
Prozessfähigkeit:
| Artikel | Fähigkeit |
| Durchmesser | 5mm – 400mm |
| Dicke | 50μm oder mehr |
| Maßtoleranz | +/- 25μm |
| Toleranz der Dicke | +/- 5μm |
| Dickenabweichung (TTV) | < 2μm |
| Ebenheit | 1/10 Welle/Zoll |
| Oberflächenrauhigkeit (RMS) | <5Ǻ |
| Kratzen und Graben | 10/5 |
| Partikelgröße | <10μm |
| Krümmung/Verwerfung | <10μm |
Auch Sie können kaufen
Opportunity Lab
Searching for an innovative solution to a challenging problem? The Optitechno Lab offers easy access to our team of experts. Challenge glass. Challenge us.
In Kontakt kommen.